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热灯丝宽波束离子源

发布时间:  2021-09-18

产品型号:  

所  在  地:  北京市朝阳区酒仙桥东路1号M7栋东5层

产品特点:  热灯丝阴极离子源是通过加热灯丝发射原初电子,发射出来的原初电子,经过阴极鞘层被加速获得相应于等离子体与阴极之间电位差的能量。

(联系我时,请说明是在化工仪器网上看到的信息,谢谢!)
产品概述

热灯丝宽波束离子源

KF/F 40   KF/I 40

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1 热灯丝宽波束离子源

产品介绍

热灯丝阴极离子源是通过加热灯丝发射原初电子,发射出来的原初电子,经过阴极鞘层被加速获得相应于等离子体与阴极之间电位差的能量。等离子体的电位略高于阳极电位。这类高速电子与从进气口均匀进入放电室的气体原子相碰撞形成等离子体,形成的离子被离子光学系统发出形成离子束。

 

1.      KF40使用简单、紧凑的考夫曼离子源,可以方便快速地更换灯丝,配备特殊电网绝缘调节系统,所有的惰性气体以及氮气均可适用于离子源,栅网系统有多种形状与材料。

2.      KF40安装在仪器内部和外部均可,使用功能陶瓷,维护方便快捷,工作寿命长。

技术规范

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2 热灯丝宽波束离子源尺寸布局

参数

KF/F40

KF/I40

类型

法兰安装考夫曼子源

多孔径提取栅网

内部安装射考夫曼源

多孔径提取栅网

源材料

放电管:Al2O3

栅网:CMo

灯丝固定器:Mo

永磁体:AlNiCo

外壳:不锈钢

灯丝:钨

栅网类型

2栅网或3栅网系统

3种不同焦距的标准系统

型号

参见上图(无中和器)

重量

4.5kg

2.5kg

法兰

DN 100 CF

3DN 40 CF介质引线

阴极电流:

最大30A

放电电流/电压

 最大6A / 150 V

离子电流

最大25 mA(取决于栅网类型和运行条件)

离子能量

50 1500 eV

加速电压

0 –1000 V

过程气体

惰性气体,N2,不能是活性气体

气流流量

2-7sccm

接头:6 mm Swagelock

2-7sccm

接头:1/8“Swagelock(空气和真空)

电连接

HV-DCBNC

HC-DC:电源启动

空气侧:BNC,电源接通

真空侧:包括0.5米真空电缆的电源启动



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