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可调ECR离子源

发布时间:  2021-09-22

产品型号:  ECR125

所  在  地:  北京市朝阳区酒仙桥东路1号M7栋东5层

产品特点:  ECR离子源是利用稀薄气体中的高频放电现象使中性原子或分子电离,并从中引出离子束流的装置。在离子源内,等离子体运动轨迹是一条螺旋线。

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产品概述

可调ECR离子源

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图1  EC/A125


  • 技术规范

ECR离子源是利用稀薄气体中的高频放电现象使中性原子或分子电离,并从中引出离子束流的装置。在离子源内,等离子体运动轨迹是一条螺旋线。当电磁场的频率ω等于回旋频率ωc时,电子会发生共振吸收,此时电子对微波电场的能量产生很强的吸收(提高几个数量级),获得巨大能量的电子会撞击原子产生新的电子,而电离出的电子很快也会发生回旋共振,撞击原子产生更多的电子,从而使得真空室内等离子体可以达到很高的浓度。电子回旋共振不但让电子获得的能量大幅增加,而且使得电子和原子碰撞的几率大大增加,这使得等离子体的浓度得到很大提高。

1. EC125可调离子源用于外部法兰安装,使用简单、紧凑的微波耦合的无灯丝源,配备特殊电网绝缘调节系统,在交变电场与永磁体的静磁场的作用下,等离子体在真空室内部发生产生电子回旋共振(ECR)。

2. EC125可调离子源使用功能陶瓷,维护方便快捷,工作寿命长(超过300小时),所有的惰性气体以及氧气等活性气体均可适用于离子源,栅网系统有多种形状与材料,并拥有全方向节点机械调整系统(每个方向10 grd),方便实现最佳工艺适应。


  • 技术规范

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图2 带有PBN的 EC/A125

表1

参数

EC/A125

EC/F125

类型

法兰安装可调射频ECR离子源

多孔径提取栅网

法兰安装射频ECR离子源

多孔径提取栅网

源材料

放电管:Al2O3

栅网:CMo

微波天线的真空分离:二氧化硅杯

永磁体:NdFeB

外壳:不锈钢

磁屏蔽:镀镍钢

栅网类型

2栅网或3栅网系统

2种不同焦距的标准系统

型号

插入深度:280 mm(无PBN

直径:220 mm(无PBN

插入深度:135 mm(不带PBN

直径:220 mm(无PBN

重量

14.5kg

11.5kg

法兰

DN 250

DN200

微波电源

~125 to 400 W at 2.45 GHz

离子电流

最大180 mA(取决于电网类型和运行条件)

离子能量

100 2000 eV

加速电压

0 –1000 V

过程气体

惰性气体,N2(无限制)

O2和含卤素气体(栅极寿命缩短)

气流流量

5-20sccm

接头:1/8“Swagelock(空气和真空)

冷却水

1.5 l/min

接头

6 mm Swagelock



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