线性ECR宽波束离子源

模块化EC/L XXX离子源

关键的设计特性

基于简单、紧凑的微波耦合的无灯丝源

永磁体使用电子回旋共振(ECR)

法兰安装配置

功能陶瓷维护方便快捷

特殊的电网绝缘调节系统

适用全惰性气体、氧气等活性气体

栅网系统有不同的形状和材料

长达2米的工作模块

最少的维护和超长寿命,维修周期超过300h

均匀离子流超过总长度的65%

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参数	EC/L600
类型	法兰安装射频激励离子源多孔径提取栅网
源材料	放电管：Al₂O₃ 栅网：C 微波天线的真空分离：二氧化硅杯永磁体：NdFeB 外壳：不锈钢磁屏蔽：镀镍钢
栅网类型	2栅网或3栅网系统 2种不同焦距的标准系统
型号	深度：标准110 mm（可调为250 mm） 235 mm x 675 mm（无法兰）
重量	约75kg
法兰	带O形密封圈的非标准矩形法兰 340 mm x 775 mm
微波电源	每个模块在2.45 GHz时约125-400 W
离子电流	最大1 A（取决于栅网类型和运行条件）
离子能量	100 到 2000 eV
加速电压	0 –1000 V
过程气体	惰性气体，N₂（无限制） O₂和含卤素气体（栅极寿命缩短）
气流流量	5-20sccm 接头：1/8“Swagelock（空气和真空）
冷却水	1.5 l/min
电连接	6 mm Swagelock