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线性ECR宽波束离子源

发布时间:  2021-09-18

产品型号:  ECL600

所  在  地:  北京市朝阳区酒仙桥东路1号M7栋东5层

产品特点:  基于简单、紧凑的微波耦合的无灯丝源

(联系我时,请说明是在化工仪器网上看到的信息,谢谢!)
产品概述

线性ECR宽波束离子源

模块化EC/L XXX离子源

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关键的设计特性

基于简单、紧凑的微波耦合的无灯丝源

永磁体使用电子回旋共振(ECR)

法兰安装配置

功能陶瓷维护方便快捷

特殊的电网绝缘调节系统

 

优势

适用全惰性气体、氧气等活性气体

栅网系统有不同的形状和材料

长达2米的工作模块

最少的维护和超长寿命,维修周期超过300h

均匀离子流超过总长度的65%

尺寸/型号

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技术规范

参数

EC/L600

类型

法兰安装射频激励离子源

多孔径提取栅网

源材料

放电管:Al2O3

栅网:C

微波天线的真空分离:二氧化硅杯

永磁体:NdFeB

外壳:不锈钢

磁屏蔽:镀镍钢

栅网类型

2栅网或3栅网系统

2种不同焦距的标准系统

型号

深度:标准110 mm(可调为250 mm

235 mm x 675 mm(无法兰)

重量

75kg

法兰

O形密封圈的非标准矩形法兰

340 mm x 775 mm

微波电源

每个模块在2.45 GHz时约125-400 W

离子电流

最大1 A(取决于栅网类型和运行条件)

离子能量

100 2000 eV

加速电压

0 –1000 V

过程气体

惰性气体,N2(无限制)

O2和含卤素气体(栅极寿命缩短)

气流流量

5-20sccm

接头:1/8“Swagelock(空气和真空)

冷却水

1.5 l/min

电连接

6 mm Swagelock




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