LensThick 全自动非接触式光学测厚仪

LensThick ATW/ATS 系列全自动光学测厚仪

设备原理

设备基于低相干干涉原理，采用非接触式光学测量，并配备高精度移动平台和视觉校正系统，自动测量产品的厚度及空气间隔。

主要功能

非接触式测量透镜中心厚度

非接触式测量微小镜头空气间隔

自动上料—自动定位—自动测量—自动下料

UPH，单穴测量时间不大于4秒

测量精度高达±0.1 μm

设备特点

LensThick ATW配备晶圆测试模组，LensThick ATS配备单镜片测试模组；

配备非接触式光学测厚仪，测量精度高，速度快，且不会对样品造成损伤；

采用大理石组合结构，稳定性高

XY平台采用直线电机及高精度光栅尺，重复定位精度±0.001mm,位置精度±0.001mm；

采用CCD图像识别定位，运用高精度算法，准确可靠；

测量时通过CCD图像校正，保证测量中心位置准确；

主要配置/设备关键部件

• 非接触式光学测厚仪

测量光程： 12mm/ 40mm/80mm

测量精度：

±0.1 μm/±1μm

测量重复性：

±0.02 μm/±0.05 μm

工作波长：

1310 nm

测量速度：

• XYR平台参数：

平面度：±0.005mm

直线度：±0.005mm

重复定位精度：±0.001mm

绝对位置精度：±0.001mm

• 视觉校正相机：

2000万像素

低噪声，高精度

工作环境及设备尺寸参数

工作电压：220V±10%

工作环境：室温-10℃—45℃，湿度≤95%；

环境相对湿度：在+40℃时 ≤90% R.H. （无冷凝）

外型尺寸：800×1200×1960 

设备总重量：约500kg

⑴ 定义为测量不确定度或最大厚度误差，置信度≥99.7%。

⑵ 整个运行环境条件的不确定性。

⑶ 60分钟测量周期的标准偏差。

⑷ 取决于被测材料在1.3μm波长下的反射率。该规格书是在4%反射条件下给出的。

 当反射条件较低时，重复性最坏会降低到约±0.15μm。

⑸ 折射率为1时。

⑹ 折射率为1.5的材料。

⑺ 特性性能，但不是一定的。