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LensThick 全自动非接触式光学测厚仪

发布时间:  2021-09-22

产品型号:  

所  在  地:  北京市朝阳区酒仙桥东路1号M7栋东5层

产品特点:  简介:利用光的独特性质精确测量厚度,非接触式测量,不会造成元件表面损坏或变形。最多可同时测量31层厚度,最高精度±0.1微米,集成装置,操作简单。适用于光学元件、透镜组件、隐形眼镜及人工晶状体、医用导管窥镜、显示屏、半导体、抛光玻璃等各种厚度及空气间隔测量。

(联系我时,请说明是在化工仪器网上看到的信息,谢谢!)
产品概述

LensThick ATW/ATS 系列全自动光学测厚仪

设备原理

设备基于低相干干涉原理,采用非接触式光学测量,并配备高精度移动平台和视觉校正系统,自动测量产品的厚度及空气间隔。

主要功能

非接触式测量透镜中心厚度

非接触式测量微小镜头空气间隔

自动上料—自动定位—自动测量—自动下料

UPH,单穴测量时间不大于4秒

测量精度高达±0.1 μm

设备特点

LensThick ATW配备晶圆测试模组,LensThick ATS配备单镜片测试模组;

配备非接触式光学测厚仪,测量精度高,速度快,且不会对样品造成损伤;

采用大理石组合结构,稳定性高

XY平台采用直线电机及高精度光栅尺,重复定位精度±0.001mm,位置精度±0.001mm;

采用CCD图像识别定位,运用高精度算法,准确可靠;

测量时通过CCD图像校正,保证测量中心位置准确;

主要配置/设备关键部件

  • 非接触式光学测厚仪

测量光程: 12mm/ 40mm/80mm

测量精度:

±0.1 μm/±1μm

测量重复性:

±0.02 μm/±0.05 μm

工作波长:

1310 nm

测量速度:

20 Hz/ 7Hz/ 4Hz



  • XYR平台参数:

平面度:±0.005mm

直线度:±0.005mm

重复定位精度:±0.001mm

绝对位置精度:±0.001mm

  • 视觉校正相机:

2000万像素

低噪声,高精度

工作环境及设备尺寸参数

工作电压:220V±10%

工作环境:室温-10℃—45℃,湿度≤95%

环境相对湿度:在+40℃ ≤90% R.H. (无冷凝)

外型尺寸:800×1200×1960 

设备总重量:约500kg

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规格参数

LensThick 系列

型号

12-1UP

40-1UP

80-1UP

12-1

40-1

80-1

厚度测量

方法

非接触式光学干涉法

精度 1,2

±0.1 μm

±1 μm

重复性 3,4

±0.02 μm

±0.05 μm

最大量程(光程)5

12 mm

40 mm

80 mm

12 mm

40 mm

80 mm

最小厚度6

16μm

20μm

24μm

35μm

测量频率

20 Hz

7 Hz

4 Hz

20 Hz

7 Hz

4 Hz

单位

mm、μm

溯源

NIM认证标准

环境 7

热机时间

温度

15℃到30℃(存储-10℃到+70℃)

压力

500 — 900 mm Hg

湿度

在+40℃时≤90% R.H.(无冷凝)

主机尺寸和重量

尺寸

570mm×700mm×590mm(长×宽×高)

重量

60㎏

支架尺寸和重量

尺寸

330mm×430mm×685mm(长×宽×高)

重量

20㎏

其他

功率

90-264 VAC,47-63 Hz,80 VA最大

仪器接口

USB2.0及以上接口

最多可支持8通道测量

电脑配置

Windows 7/8/10,1GB内存,USB2.0以上接口,显示器,键盘,鼠标

质保期

1年


⑴ 定义为测量不确定度或最大厚度误差,置信度≥99.7%。

⑵ 整个运行环境条件的不确定性。

⑶ 60分钟测量周期的标准偏差。

⑷ 取决于被测材料在1.3μm波长下的反射率。该规格书是在4%反射条件下给出的。

 当反射条件较低时,重复性最坏会降低到约±0.15μm。

⑸ 折射率为1时。

⑹ 折射率为1.5的材料。

⑺ 特性性能,但不是一定的。




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