设备原理
设备基于低相干干涉原理,采用非接触式光学测量,并配备高精度移动平台和视觉校正系统,自动测量产品的厚度及空气间隔。
主要功能
非接触式测量透镜中心厚度
非接触式测量微小镜头空气间隔
自动上料—自动定位—自动测量—自动下料
UPH,单穴测量时间不大于4秒
测量精度高达±0.1 μm
设备特点
LensThick ATW配备晶圆测试模组,LensThick ATS配备单镜片测试模组;
配备非接触式光学测厚仪,测量精度高,速度快,且不会对样品造成损伤;
采用大理石组合结构,稳定性高
XY平台采用直线电机及高精度光栅尺,重复定位精度±0.001mm,位置精度±0.001mm;
采用CCD图像识别定位,运用高精度算法,准确可靠;
测量时通过CCD图像校正,保证测量中心位置准确;
主要配置/设备关键部件
非接触式光学测厚仪
测量光程: 12mm/ 40mm/80mm
测量精度:
±0.1 μm/±1μm
测量重复性:
±0.02 μm/±0.05 μm
工作波长:
1310 nm 测量速度:
XYR平台参数:
平面度:±0.005mm
直线度:±0.005mm
重复定位精度:±0.001mm
绝对位置精度:±0.001mm
视觉校正相机:
2000万像素
低噪声,高精度
工作环境及设备尺寸参数
工作电压:220V±10%
工作环境:室温-10℃—45℃,湿度≤95%;
环境相对湿度:在+40℃时 ≤90% R.H. (无冷凝)
外型尺寸:800×1200×1960
设备总重量:约500kg
规格参数 | LensThick 系列 | |||||
型号 | 12-1UP | 40-1UP | 80-1UP | 12-1 | 40-1 | 80-1 |
厚度测量 | ||||||
方法 | 非接触式光学干涉法 | |||||
精度 1,2 | ±0.1 μm | ±1 μm | ||||
重复性 3,4 | ±0.02 μm | ±0.05 μm | ||||
最大量程(光程)5 | 12 mm | 40 mm | 80 mm | 12 mm | 40 mm | 80 mm |
最小厚度6 | 16μm | 20μm | 24μm | 35μm | ||
测量频率 | 20 Hz | 7 Hz | 4 Hz | 20 Hz | 7 Hz | 4 Hz |
单位 | mm、μm | |||||
溯源 | NIM认证标准 | |||||
环境 7 | ||||||
热机时间 | 无 | |||||
温度 | 15℃到30℃(存储-10℃到+70℃) | |||||
压力 | 500 — 900 mm Hg | |||||
湿度 | 在+40℃时≤90% R.H.(无冷凝) | |||||
主机尺寸和重量 | ||||||
尺寸 | 570mm×700mm×590mm(长×宽×高) | |||||
重量 | 60㎏ | |||||
支架尺寸和重量 | ||||||
尺寸 | 330mm×430mm×685mm(长×宽×高) | |||||
重量 | 20㎏ | |||||
其他 | ||||||
功率 | 90-264 VAC,47-63 Hz,80 VA最大 | |||||
仪器接口 | USB2.0及以上接口 最多可支持8通道测量 | |||||
电脑配置 | Windows 7/8/10,1GB内存,USB2.0以上接口,显示器,键盘,鼠标 | |||||
质保期 | 1年 |
⑴ 定义为测量不确定度或最大厚度误差,置信度≥99.7%。
⑵ 整个运行环境条件的不确定性。
⑶ 60分钟测量周期的标准偏差。
⑷ 取决于被测材料在1.3μm波长下的反射率。该规格书是在4%反射条件下给出的。
当反射条件较低时,重复性最坏会降低到约±0.15μm。
⑸ 折射率为1时。
⑹ 折射率为1.5的材料。
⑺ 特性性能,但不是一定的。