基于简单、紧凑的微波耦合的无灯丝源

适用全惰性气体、氧气等不同气体

ECR离子源是利用稀薄气体中的高频放电现象使中性原子或分子电离，并从中引出离子束流的装置。在离子源内，等离子体运动轨迹是一条螺旋线。

热灯丝离子源是通过加热灯丝发射原初电子，发射出来的原初电子，经过鞘层被加速获得相应于等离子体与之间电位差的参数。

射频离子源是利用稀薄气体中的高频放电现象使中性原子或分子电离，并从中引出离子束流的装置，在高频电场中，自由电子与气体中的原子（或分子）碰撞，并使之电离。

法拉第杯是一种金属制设计成杯状，用来测量带电粒子入射强度（入射电流）的一种真空侦测器，适用于高热负荷下的长时间测量，测得的入射电流可以用来判定入射电子或离子的数量，安装、维护方便快捷，工作寿命长。